仪表阀门由于气相沉积的冷速很大―般是过冷度比凝固大得多此

发布时间：2016.05.13     浏览次数：

仪表阀门由于气相沉积的冷速很大―般是过冷度比凝固大得多此，气相沉积的临界晶粒尺寸很小，同时由于气体源的热能在大的基片上快速散发，因而晶不易长大。室温沉积即基片未加热的晶粒大多为纳米尺寸晶粒甚至为非晶，尤其是合金高熔点化合物较易得到非晶。基片加热时沉积，晶粒才能显著长大。的室温发沉积的透射电镜照片，该图清楚地显示出，随蒸发时间的增加，晶粒的长大和连续薄膜形的过程气相沉积的形核率也与凝固类似，它受形核功因子和原子扩散几率因子共同影响．由气相沉积过冷度很大，因此，仪表管件形核率主要受形核功因子的影响，尤其是当基片未加热时容易到细晶。

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